Biomedizinische Mikrosysteme

Technische Ausstattung

Mikrosystemtechnik

Designwerkzeuge

  • Designwerkzeuge für Maskenlayout
  • 3D-Konstruktion
  • Schaltungslayout für Siebdruck

Beschichtung/Mikrostrukturierung

  • Vollständige Fotolithographie mit Resistprozessor und doppelseitigem Mask Aligner für die Mikrostrukturierung
  • Trockenätzanlage (RIE) für Siliziumwafer sowie auch für Kunststoffsubstrate
  • Prozessanlage für anisotropes Ätzen von Silizium
  • Dünnfilmprozessanlagen (Sputtern, PECVD)
  • Abscheideanlage für Parylene C
  • Laser zum Bohren und Schneiden (z. B. von Silizium oder Aluminiumoxid-Keramik)
  • Labor für Replikationstechnologien (Silikonabformung; Herstellung von Gussformen)
  • 3D-Rapid Prototyping mittels 3D-Drucker und 3D-Scanner
  • Labor zur Be- und Verarbeitung von Silikonstrukturen einschließlich der gezielten Optimierung von deren Eigenschaften durch biologische Funktionalisierung der Oberflächen und das Einbringen spezieller Füllstoffe

Aufbau- und Verbindungstechnik

  • Die-Bonder
  • Ball-Wedge-Bonder
  • anodischer Bonder
  • Hybrid-Laborlinie

Messtechnik/Analytik

  • Rasterelektronenmikroskop (REM, EDX)
  • Rastersondenmikroskop (SPM, AFM)
  • 3D-Konfokalmikroskop
  • Impedanzmessplatz mit Solartron SI 1260, SI 1287, SI 1294
  • messtechnisches Labor zur elektrochemischen, optischen und mechanischen Charakterisierung von Elektroden, insbesondere Untersuchung von Feldverteilungen bei Mikroelektroden, elektrische Impedanzspektroskopie, Stabilität unter mechanischer Belastung und Aufnahme von Leckströmen

Folienbasierte Mikrosystemtechnik

  • Heißprägeanlage
  • Anlage zum rotativen Heißprägen großflächiger Folien (Rolle-zu-Rolle)
  • Anlage zum rotativen Drucken von Proteinen und von leitfähigen Strukturen aus Graphen (Rolle-zu-Rolle)
  • Folienlaminator

Biotelemetrie/Elektronik/Soft- und Firmware

  • Telemetrie-Labor mit der Ausstattung zur professionellen Elektronikentwicklung und Vermessung, wie digitale HF-Oszilloskope, programmierbare Netzgeräte, Spektrumanalysatoren, Präzisionsmultimeter etc.
  • Entwurfswerkzeuge zur Entwicklung elektronischer Schaltungen (Mentor Graphics, OrCAD, Solid Works)
  • elektrotechnisches Labor zur Entwicklung und Fertigung verteilter Sensorik und Aktuatorik einschließlich Systeme für die physiologische Messtechnik und Elektrostimulation
  • Entwicklungswerkzeuge zur Programmierung verschiedener 8-, 16-, und 32-bit-Microcontroller und FPGAs
  • Softwarelabor
  • Simulationswerkzeuge zur Simulation elektromagnetischer Systeme
  • Zugriff auf Finepitch-SMD-Bestückung und Dampfphasenlötanlage

Teststände zur Charakterisierung aktiver Implantate

  • Teststände zum Erfassen des Einflusses von Gewebe auf die drahtlose Kommunikation und die drahtlose Energieübertragung
  • kalibrierte Messgeräte
  • Kooperationen mit Testhäusern
  • Aufbau spezieller Teststände

Methodik

  • Labor zur Entwicklung und Anwendung von Geräten und Methoden der klinischen Neurophysiologie einschließlich Eye-Tracking und Thermographie
  • Fahrsimulator zur Beurteilung des Fahrverhaltens und des Zustands eines Fahrzeugführers über die Dynamik erfasster Vitalparameter
  • 3D-Messplatz zur Erfassung und Beurteilung von Bewegungsabläufen einschließlich 16-kanaliger Erfassung des EMG und dessen drahtloser Übertragung
  • Entwicklungsumgebungen für funkbasierte Ortungssysteme
  • Softwareentwicklungswerkzeuge für PC- und Handy-/PDA-Anwendungen in Java, C/C++/C#; Datenbankenentwicklungstools (Oracle, SQL-Server, Intersystems Caché)
  • Geräte und Kommunikationseinrichtungen zum drahtlosen kontinuierlichen Patienten-Monitoring
  • Server und Datenbanken
  • kryptografische Anwendungen

Angebote der Abteilung Biomedizinische Mikrosysteme

Broschüre der Hauptabteilung Biomedizintechnik

Produktblätter der Abteilung Biomedizinische Mikrosysteme

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Pressemitteilungen der Hauptabteilung Biomedizintechnik

Studentische Arbeiten in der Hauptabteilung Biomedizintechnik