Technische Ausstattung

Mikrosystemtechnik

Designwerkzeuge

Beschichtung/Mikrostrukturierung

Vollständige Fotolithographie mit Resistprozessor und doppelseitigem Mask Aligner für die Mikrostrukturierung
Trockenätzanlage (RIE) für Siliziumwafer sowie auch für Kunststoffsubstrate
Prozessanlage für anisotropes Ätzen von Silizium
Dünnfilmprozessanlagen (Sputtern, PECVD)
Abscheideanlage für Parylene C
Laser zum Bohren und Schneiden (z. B. von Silizium oder Aluminiumoxid-Keramik)
Labor für Replikationstechnologien (Silikonabformung; Herstellung von Gussformen)
3D-Rapid Prototyping mittels 3D-Drucker und 3D-Scanner
Labor zur Be- und Verarbeitung von Silikonstrukturen einschließlich der gezielten Optimierung von deren Eigenschaften durch biologische Funktionalisierung der Oberflächen und das Einbringen spezieller Füllstoffe

Aufbau- und Verbindungstechnik

Messtechnik/Analytik

Rasterelektronenmikroskop (REM, EDX)
Rastersondenmikroskop (SPM, AFM)
3D-Konfokalmikroskop
Impedanzmessplatz mit Solartron SI 1260, SI 1287, SI 1294
messtechnisches Labor zur elektrochemischen, optischen und mechanischen Charakterisierung von Elektroden, insbesondere Untersuchung von Feldverteilungen bei Mikroelektroden, elektrische Impedanzspektroskopie, Stabilität unter mechanischer Belastung und Aufnahme von Leckströmen

Folienbasierte Mikrosystemtechnik

Heißprägeanlage
Anlage zum rotativen Heißprägen großflächiger Folien (Rolle-zu-Rolle)
Anlage zum rotativen Drucken von Proteinen und von leitfähigen Strukturen aus Graphen (Rolle-zu-Rolle)
Folienlaminator

Biotelemetrie/Elektronik/Soft- und Firmware

Telemetrie-Labor mit der Ausstattung zur professionellen Elektronikentwicklung und Vermessung, wie digitale HF-Oszilloskope, programmierbare Netzgeräte, Spektrumanalysatoren, Präzisionsmultimeter etc.
Entwurfswerkzeuge zur Entwicklung elektronischer Schaltungen (Mentor Graphics, OrCAD, Solid Works)
elektrotechnisches Labor zur Entwicklung und Fertigung verteilter Sensorik und Aktuatorik einschließlich Systeme für die physiologische Messtechnik und Elektrostimulation
Entwicklungswerkzeuge zur Programmierung verschiedener 8-, 16-, und 32-bit-Microcontroller und FPGAs
Softwarelabor
Simulationswerkzeuge zur Simulation elektromagnetischer Systeme
Zugriff auf Finepitch-SMD-Bestückung und Dampfphasenlötanlage

Teststände zur Charakterisierung aktiver Implantate

Teststände zum Erfassen des Einflusses von Gewebe auf die drahtlose Kommunikation und die drahtlose Energieübertragung
kalibrierte Messgeräte
Kooperationen mit Testhäusern
Aufbau spezieller Teststände

Methodik

Labor zur Entwicklung und Anwendung von Geräten und Methoden der klinischen Neurophysiologie einschließlich Eye-Tracking und Thermographie
Fahrsimulator zur Beurteilung des Fahrverhaltens und des Zustands eines Fahrzeugführers über die Dynamik erfasster Vitalparameter
3D-Messplatz zur Erfassung und Beurteilung von Bewegungsabläufen einschließlich 16-kanaliger Erfassung des EMG und dessen drahtloser Übertragung
Entwicklungsumgebungen für funkbasierte Ortungssysteme
Softwareentwicklungswerkzeuge für PC- und Handy-/PDA-Anwendungen in Java, C/C++/C#; Datenbankenentwicklungstools (Oracle, SQL-Server, Intersystems Caché)
Geräte und Kommunikationseinrichtungen zum drahtlosen kontinuierlichen Patienten-Monitoring
Server und Datenbanken
kryptografische Anwendungen

Biomedizinische Mikrosysteme